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                      超高純氣體系統用不銹鋼氣體過濾器應用

                      2022-03-17

                      高純氣體系統過濾器主要是過濾系統內部高純氣體中含有的雜質污染物,它的原理是通過擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉。如果有任何雜質在超純氣體里就會造成氣體質量下降,影響氣體的純度。


                      高純氣體


                      超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學試劑。它主要應用在一些科學研究和尖端技術的特殊應用上,比如半導體工業中會用到氫、氮、氦、硅烷等單一超純氣體作為保護氣和載氣,也可在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。除此之外,也有不少超純混合氣體作為色譜、質譜和光譜分析中的標準氣來使用。


                      超高純氣體過濾器通常安裝在閥門、配件下游和進氣前的部分,供氣系統內部由于振動效果或者強氣流沖擊導致金屬粒子脫落,容易將粒子污染物帶入氣體中,因此需要在用超高純氣體過濾器過濾。超高純氣體過濾器能對超純氣體進行有效精密過濾,可通過多級處理滿足工況要求,產品一體化無縫結合無焊接部位,適用于高壓工況下的氣體及液體過濾。


                      由于很多高壓氣體系統內部壓力的很高的,因此耐高壓超高純氣體過濾器采用316l不銹鋼材質,耐壓能力強,適合多種高壓工況系統。產品體積小,安裝方便,與大多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降。


                      半導體行業中幾乎各道工序都用到超純氣體,器件的質量與超純氣體的純凈度有密切關系。因此,對于超純氣體的過濾凈化是要起到重視作用的,選擇一個質量過硬的超純氣體過濾器能夠幫助有效去除脫落粒子,保護超純氣體的純度避免工程損失和損壞。



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